我们的加速度计专为军事、航空航天和工业应用而设计；具有极低的噪声水平，并且能够以更高的分辨率进行灵敏的倾斜评估。主要行业包括：控制倾斜角调平平台（天线对准）、桥梁、建筑和机器倾斜监视器。

倾斜仪，也称为倾斜传感器或坡度传感器，旨在测量物体相对于地球重力矢量的方位角。这些倾斜仪确定俯仰角和/或滚转角，并通过适当的电气接口输出这些值。

我们的面内体微加工方法允许利用全桥电容式传感配置来抑制寄生，并提高性能，以在±2g和±5g的推荐传感范围内实现低于1.2µg/√Hz的噪声密度。

此外，由于利用了电容器面积变化的概念，平面内设计能够提高线性度。在SOI晶片处理层中实现的大的检验质量有助于提高灵敏度。

当设备倾斜时，这个质量会轻微移动，导致电容变化，角度可以从加速度输出中计算出来。

应用程序要求

精确角度范围（±90°）

高精度：±0.02°

高分辨率（0.002°）

应用

天线定位

平台调平与稳定

水准测量仪器